빠른 초점 조정 및 자동 초점 응용 분야를 위한 피에조 스테이지

Jan 23, 2024

높은 대역폭에서 nm 이하의 해상도로 대물렌즈를 스캔하고 위치를 지정하도록 설계된 PI의 렌즈 포지셔너 라인은 차세대 피에조 Z 초점 스테이지인 P-725 PIFOC 압전 굴곡 스테이지 제품군으로 확장되고 있습니다. 100μm, 400μm 및 업계 최고의 800μm의 3가지 이동 범위로 제공되며 초고해상도 현미경, 웨이퍼 계측 및 레이저 재료 처리와 같은 응용 분야에서 나노미터 정밀도의 고성능 고속 포커싱이 달성됩니다. 더 높은 성능을 제공하는 것 외에도 차세대 P-725 스테이지는 설치가 더 쉽고, 더 컴팩트하며, 하나의 현미경 터렛에 여러 장치를 연결할 수 있습니다.

최고의 선형성과 안정성을 위한 직접 측정 센서가 장착된 무마찰 피에조 드라이브는 빠른 응답, 높은 강성 및 몇 밀리초의 빠른 정착 시간을 보장합니다. 컴퓨터에 최적화된 플레이 프리 플렉셔 가이드 시스템은 반복성과 포커싱 안정성을 향상시킵니다.

Piezo-Flexure-Guided Focusing Stage와 Voice Coil – Crossed Roller Guided Focusing Stage

PI는 두 가지 솔루션을 모두 제공하며 유사하거나 때로는 다른 요구 사항을 해결합니다. Piezo-flexure 가이드 포커싱 스테이지는 더 컴팩트하고 더 나은 직진도, 평탄도를 제공하고 일반적으로 가이드 정밀도로 알려진 각도 오류 감소를 제공합니다. 굴곡 가이드는 마찰이 없고 마모되지 않습니다. 그러나 동작 범위는 제한되어 있습니다. 더 긴 이동 범위의 경우 7mm 수직 이동 및 사용자 조정 가능한 균형을 갖춘 PI의 V-308 포커싱 스테이지와 같은 크로스 롤러 베어링이 있는 보이스 코일 구동 스테이지가 옵션입니다. 마찰이 없고 마모가 없으며 매우 정확한 가이드 시스템을 갖춘 장거리 이동을 위한 또 다른 옵션은 최근 출시된 A-142 소형 보이스 코일 모터 구동 에어 베어링 슬라이드입니다.

빠른 초점 및 고정 기능과 자동 스캔 기능을 갖춘 디지털 컨트롤러

포커싱 단계와 함께 새로운 E-709 컴팩트 디지털 피에조 서보 컨트롤러/드라이버는 이전 제품보다 두 배의 성능과 여러 배의 해상도를 제공하는 20kHz 샘플링 속도를 제공하도록 설계되었습니다. 향상된 이미징 품질을 위한 4차 선형화, 고속 추적, 장치가 외부(초점) 센서에서 초점 단계에 통합된 위치 센서로 무충돌 전환할 수 있는 PI 고유의 Fast Focus & Freeze 기능과 같은 고급 기능을 통해 정밀한 작업이 가능합니다. , 초점면에 대해 보정되고 안정적인 움직임. LabVIEW용 드라이버, Windows 및 Linux용 동적 라이브러리, MATLAB, MetaMorph, µManager 등의 포괄적인 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 인터페이스에는 USB, SPI, RS-232 및 아날로그가 포함됩니다. 지원되는 기능에는 웨이브 생성기, 데이터 레코더, 자동 영점 및 트리거 I/O가 포함됩니다.

자세한 내용은 www.physikinstrumente.com을 참조하세요.

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